发明名称 FABRICATION METHOD OF ULTRA THIN DEVICE
摘要
申请公布号 KR0171377(B1) 申请公布日期 1999.03.30
申请号 KR19950052669 申请日期 1995.12.20
申请人 KOREA ELECTRONICS & TELECOMMUNICATIONS RESEARCH INSTITUTE 发明人 LEE, JAE-JIN;LEE, HAE-KWON;NAM, KI-SOO
分类号 H01L21/20;(IPC1-7):H01L21/20 主分类号 H01L21/20
代理机构 代理人
主权项
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