发明名称 FABRICATION METHOD OF METAL WIRE BY MULTIPLE ANNEALING METHOD
摘要
申请公布号 KR0170478(B1) 申请公布日期 1999.03.30
申请号 KR19950051474 申请日期 1995.12.18
申请人 KOREA ELECTRONICS & TELECOMMUNICATIONS RESEARCH INSTITUTE 发明人 JOO, CHOL-WON
分类号 H01L21/3205;(IPC1-7):H01L21/320 主分类号 H01L21/3205
代理机构 代理人
主权项
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