发明名称 |
FABRICATION METHOD OF METAL WIRE BY MULTIPLE ANNEALING METHOD |
摘要 |
|
申请公布号 |
KR0170478(B1) |
申请公布日期 |
1999.03.30 |
申请号 |
KR19950051474 |
申请日期 |
1995.12.18 |
申请人 |
KOREA ELECTRONICS & TELECOMMUNICATIONS RESEARCH INSTITUTE |
发明人 |
JOO, CHOL-WON |
分类号 |
H01L21/3205;(IPC1-7):H01L21/320 |
主分类号 |
H01L21/3205 |
代理机构 |
|
代理人 |
|
主权项 |
|
地址 |
|