| 发明名称 |
Sistema triodo de deposição de filmes usando plasma assistido por campo magnético |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
BR7701735(U) |
申请公布日期 |
1999.03.30 |
| 申请号 |
BR1997MU01735U |
申请日期 |
1997.09.24 |
| 申请人 |
FUNDACAO DO ENSINO DA ENGENHARIA EM SANTA CATARINA - FEESC |
发明人 |
JOEL LUIS RENE MUZART |
| 分类号 |
C23C14/35;(IPC1-7):C23C14/35 |
主分类号 |
C23C14/35 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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