发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH1187335(A) 申请公布日期 1999.03.30
申请号 JP19970239643 申请日期 1997.09.04
申请人 OKI ELECTRIC IND CO LTD 发明人 YAMAUCHI MICHIKO
分类号 H01L21/316;H01L21/76;(IPC1-7):H01L21/316 主分类号 H01L21/316
代理机构 代理人
主权项
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