发明名称 METHOD OF MANUFACTURING SILICON-ON-INSULATOR WAFER
摘要
申请公布号 KR0171067(B1) 申请公布日期 1999.03.30
申请号 KR19940032792 申请日期 1994.12.05
申请人 HYUNDAI MICRO ELECTRONICS CO.,LTD. 发明人 LEE, SUK-SOO
分类号 H01L21/00;(IPC1-7):H01L21/00 主分类号 H01L21/00
代理机构 代理人
主权项
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