| 发明名称 |
FILM FORMATION AND FILM-FORMING APPARATUS |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH1187341(A) |
申请公布日期 |
1999.03.30 |
| 申请号 |
JP19970248292 |
申请日期 |
1997.09.12 |
| 申请人 |
TOSHIBA CORP |
发明人 |
MURAOKA KOICHI;ITO HITOSHI |
| 分类号 |
H01L21/31;C23C16/02;C23C16/24;H01L21/314;H01L21/316;H01L21/318;H01L29/78;(IPC1-7):H01L21/316 |
主分类号 |
H01L21/31 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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