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发明名称 POLYCRYSTALLINE SEMICONDUCTOR MATERIAL, MANUFACTURE THEREOF, SEMICONDUCTOR DEVICE USING THE MATERIAL AND EVALUATION OF THE DEVICE
摘要
申请公布号 JPH1187241(A) 申请公布日期 1999.03.30
申请号 JP19970239752 申请日期 1997.09.04
申请人 FUJITSU LTD 发明人 KITAHARA KUNINORI;MURAKAMI SATOSHI;HARA AKITO
分类号 H01L21/66;H01L21/20;H01L21/336;H01L29/78;H01L29/786;(IPC1-7):H01L21/20 主分类号 H01L21/66
代理机构 代理人
主权项
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