发明名称 LAYER INSULATION FILM FORMING METHOD OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 KR0172031(B1) 申请公布日期 1999.03.30
申请号 KR19950035419 申请日期 1995.10.13
申请人 SAMSUNG ELECTRONICS CO., LTD. 发明人 KANG, SUNG-HOON;KIM, JOO-WAN;LEE, SUNG-MIN
分类号 B41J13/00;B41J13/076;B65H3/06;H01L21/31;(IPC1-7):H01L21/31 主分类号 B41J13/00
代理机构 代理人
主权项
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