发明名称 MICRO-PATTERN FORMING METHOD OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 KR0171944(B1) 申请公布日期 1999.03.30
申请号 KR19950066081 申请日期 1995.12.29
申请人 HYUNDAI ELECTRONICS IND. CO.,LTD 发明人 MIN, YOUNG-HOON;KIM, HEUNG-ILL
分类号 H01L21/302;(IPC1-7):H01L21/302 主分类号 H01L21/302
代理机构 代理人
主权项
地址