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发明名称 FORMATION OF OXIDE FILM
摘要
申请公布号 JPH1187338(A) 申请公布日期 1999.03.30
申请号 JP19970264911 申请日期 1997.09.11
申请人 SONY CORP 发明人 TOKUNAGA KAZUHIKO
分类号 H01L29/78;H01L21/316;H01L21/318;(IPC1-7):H01L21/316 主分类号 H01L29/78
代理机构 代理人
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