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发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH1187358(A) 申请公布日期 1999.03.30
申请号 JP19970248775 申请日期 1997.09.12
申请人 NEC CORP 发明人 KASAHARA TOMOKAZU
分类号 H01L29/73;H01L21/331;H01L29/732;(IPC1-7):H01L21/331 主分类号 H01L29/73
代理机构 代理人
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