发明名称 PROJECTION ALIGNER
摘要
申请公布号 JPH1187233(A) 申请公布日期 1999.03.30
申请号 JP19970257943 申请日期 1997.09.08
申请人 CANON INC 发明人 AKIMOTO SATOSHI
分类号 G03F7/20;G03F9/00;H01L21/027;(IPC1-7):H01L21/027 主分类号 G03F7/20
代理机构 代理人
主权项
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