发明名称 DISSOLVED GAS SENSOR FOR SEMICONDUCTOR
摘要
申请公布号 KR0168828(B1) 申请公布日期 1999.03.30
申请号 KR19950015672 申请日期 1995.06.14
申请人 CAS CORP. 发明人 CHA, KEUN-SIK;NAM, HAK-HYUN;KIM, CHOL;HA, BYUNG-JOO;SHIN, JAE-HO
分类号 G01N27/414;(IPC1-7):G01N27/414 主分类号 G01N27/414
代理机构 代理人
主权项
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