发明名称 SUBSTRATE TREATING SYSTEM
摘要
申请公布号 KR0171866(B1) 申请公布日期 1999.03.30
申请号 KR19950016058 申请日期 1995.06.16
申请人 DAINPPON SCREEN MFG CO.,LTD 发明人 SASADA, SHIGERU;AOKI, KAORU;KODAMA, MITSUMASA;SUGIMOTO, KENJI;FUKUTOMI, YOSHIMITSU;INOUE, HIDEKAZU
分类号 B23P19/00;H01L21/00;H01L21/677;(IPC1-7):H01L21/02 主分类号 B23P19/00
代理机构 代理人
主权项
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