| 发明名称 |
Apparatus for and method of cleaning objects to be processed |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
SG63753(A1) |
申请公布日期 |
1999.03.30 |
| 申请号 |
SG19970003595 |
申请日期 |
1997.09.27 |
| 申请人 |
TOKYO ELECTRON LIMITED. |
发明人 |
KAMIKAWA YUJI;NAKASHIMA SATOSHI;UENO KINYA |
| 分类号 |
H01L21/00;(IPC1-7):H01L21/68;B65G45/10;B65G49/07 |
主分类号 |
H01L21/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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