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经营范围
发明名称
Method for improving deposit of photoresist on wafers
摘要
申请公布号
SG63582(A1)
申请公布日期
1999.03.30
申请号
SG19960003920
申请日期
1990.05.18
申请人
HEWLETT-PACKARD COMPANY
发明人
GORDON, WILLIAM, G.
分类号
B05D1/32;G03F7/16;H01L21/027;(IPC1-7):G03F7/16
主分类号
B05D1/32
代理机构
代理人
主权项
地址
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