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发明名称 Laser with line narrowing output coupler
摘要
申请公布号 AU9471398(A) 申请公布日期 1999.03.29
申请号 AU19980094713 申请日期 1998.07.27
申请人 CYMER, INC. 发明人 ALEXANDER I. ERSHOV
分类号 H01S3/225;G03F7/20;H01S3/081;H01S3/1055;H01S3/137 主分类号 H01S3/225
代理机构 代理人
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