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发明名称 SUBSTRATE SURFACE TREATING DEVICE
摘要
申请公布号 JPH1180958(A) 申请公布日期 1999.03.26
申请号 JP19970237519 申请日期 1997.09.02
申请人 AMATANI SEISAKUSHO:KK 发明人 AMAYA KUNIO
分类号 C23C16/44;C23C16/455;H01L21/205;H01L21/31;(IPC1-7):C23C16/44 主分类号 C23C16/44
代理机构 代理人
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