SPUTTERING DEVICE,申请号JP19970257676-传众专利搜索

发明名称	SPUTTERING DEVICE
摘要
申请公布号	JPH1180948(A)	申请公布日期	1999.03.26
申请号	JP19970257676	申请日期	1997.09.06
申请人	ANELVA CORP	发明人	TASHIRO MASAHITO
分类号	C23C14/35;H01L21/203;H01L21/285;(IPC1-7):C23C14/35	主分类号	C23C14/35
代理机构		代理人
主权项
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