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发明名称
SCANNING TYPE PROBE MICROSCOPE
摘要
申请公布号
JPH1183874(A)
申请公布日期
1999.03.26
申请号
JP19970239764
申请日期
1997.09.04
申请人
SHIMADZU CORP
发明人
NISHIMOTO HISAHIRO
分类号
G01N37/00;G01Q20/04;G01Q60/24;G01Q60/38;(IPC1-7):G01N37/00
主分类号
G01N37/00
代理机构
代理人
主权项
地址
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