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发明名称 METHOD FOR LAMINATING POLYCRYSTAL MATERIAL ON SILICON BASE SUBSTRATE
摘要
申请公布号 JPH1180962(A) 申请公布日期 1999.03.26
申请号 JP19980164750 申请日期 1998.06.12
申请人 FR TELECOM 发明人 REGOLINI JORGE LUIS
分类号 C23C16/24;C23C16/42;C23C16/50;H01L21/285;H01L21/3205;(IPC1-7):C23C16/50 主分类号 C23C16/24
代理机构 代理人
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