| 发明名称 |
THIN FILM FOR BLACK MATRIX, AND TARGET FOR FILM FORMATION FOR BLACK MATRIX |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH1180936(A) |
申请公布日期 |
1999.03.26 |
| 申请号 |
JP19970242257 |
申请日期 |
1997.09.08 |
| 申请人 |
HITACHI METALS LTD |
发明人 |
KUBOI TAKESHI;UENO TOMONORI |
| 分类号 |
G02B5/00;C03C17/09;C23C14/14;C23C14/34;G02B5/20;(IPC1-7):C23C14/14 |
主分类号 |
G02B5/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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