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经营范围
发明名称
LIGHT-WAVE INTERFERENCE MEASURING DEVICE
摘要
申请公布号
JPH1183423(A)
申请公布日期
1999.03.26
申请号
JP19970254240
申请日期
1997.09.03
申请人
NIKON CORP
发明人
TSUKIHARA KOICHI;KAWAKAMI JUN
分类号
G01B9/02;G01B11/00;(IPC1-7):G01B9/02
主分类号
G01B9/02
代理机构
代理人
主权项
地址
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