METHOD AND APPARATUS FOR DETECTING NOTCH,申请号JP19970238114-传众专利搜索

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发明名称	METHOD AND APPARATUS FOR DETECTING NOTCH
摘要
申请公布号	JPH1183750(A)	申请公布日期	1999.03.26
申请号	JP19970238114	申请日期	1997.09.03
申请人	MITSUBISHI ELECTRIC CORP	发明人	SAKAGAMI YOSHIKAZU
分类号	G01N21/88;G01N21/93;G01N21/956;H01L21/66;H01L23/50;(IPC1-7):G01N21/88	主分类号	G01N21/88
代理机构		代理人
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