| 发明名称 |
RESIST LAMINATED BODY FOR FORMING PATTERN AND PATTERN FORMING METHOD USING SAME |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH1184673(A) |
申请公布日期 |
1999.03.26 |
| 申请号 |
JP19970238224 |
申请日期 |
1997.09.03 |
| 申请人 |
TOKYO OHKA KOGYO CO LTD |
发明人 |
KANEKO FUMITAKE;FUJIMURA SATOSHI;NAKAYAMA TOSHIMASA |
| 分类号 |
G03F7/004;G03F7/038;G03F7/11;H01L21/027;(IPC1-7):G03F7/11 |
主分类号 |
G03F7/004 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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