| 发明名称 |
PROCEDE ET DISPOSITIF POUR TESTER LE FONCTIONNEMENT D'ELEMENTS D'UNE MICROSTRUCTURE |
| 摘要 |
|
| 申请公布号 |
FR2736725(B1) |
申请公布日期 |
1999.03.26 |
| 申请号 |
FR19960006983 |
申请日期 |
1996.06.06 |
| 申请人 |
ICT INTEGRATED CIRCUIT TESTING GESSELSCHAFT FUR HALBLEITERPRUFTECHNIK MBH |
发明人 |
BRUNNER MATTHIAS;FEUERBAUM HANS PETER;FROSIEN JURGEN |
| 分类号 |
G01R31/26;B81C99/00;G01M11/00;G01R31/302;G01R31/305;G09G3/00;H01J9/42;H01L21/66;H01L29/66;H01S5/00;(IPC1-7):G01R31/265 |
主分类号 |
G01R31/26 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
