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<p>L'invention concerne un tube de traitement (12) d'un four pour plaquettes en semi-conducteur comportant un ou plusieurs conduits (42, 44) d'amenée de gaz enroulés autour de la périphérie du tube de traitement (12), dans une région de non production, près d'une extrémité, servant à préchauffer le gaz dans les conduits (42, 44). La longueur des conduits (42, 44) dans la partie enroulée est présélectionnée, afin que le gaz dans ces conduits soit convenablement préchauffé, avant que ces conduits ne passent par les plaquettes. En outre, les conduits (42, 44) sont disposés de manière à absorber de l'énergie uniformément autour de la périphérie du tube de traitement (12) et à ne pas créer un côté froid à l'intérieur du tube.</p> |
