发明名称 Ionenquelle für ein Ionen-Implantationsgerät
摘要
申请公布号 DE69507776(D1) 申请公布日期 1999.03.25
申请号 DE19956007776 申请日期 1995.11.10
申请人 EATON CORP., CLEVELAND, OHIO, US 发明人 SFERLAZZO, PIERO, LYNNFIELD, MASSACHUSETTS 01940, US;MCINTYRE, EDWARD KIRBY, JR., FRANKLIN, MASSACHUSETTS 02038, US;REYNOLDS, WILLIAM EDWARD, TOPSFIELD, MASSACHUSETTS 01983, US;CLOUTIER, RICHARD MAURICE, SALISBURY, MASSACHUSETTS01952, US;HORSKY, THOMAS NEIL, BOXBOROUGH, MASSACHUSETTS 01719, US
分类号 H01J27/20;H01J27/14;H01J37/08;H01J37/317;H01L21/265;(IPC1-7):H01J27/14 主分类号 H01J27/20
代理机构 代理人
主权项
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