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发明名称 BEHANDLUNGSVORRICHTUNG.
摘要
申请公布号 DE69228441(D1) 申请公布日期 1999.03.25
申请号 DE19926028441 申请日期 1992.10.22
申请人 ELECTROTECH LTD., THORNBURY, BRISTOL, GB 发明人 JEFFRYES, ANDREW, ISAAC HEATHVIEW HACKET LANE, BRISTOL, GB;GREEN, GORDON, ROBERT, BRISTOL, GB
分类号 C23C14/56;C23C14/58;C23C26/00;H01L21/00;H01L21/324;H01L21/677;H01L21/768;(IPC1-7):H01L21/00 主分类号 C23C14/56
代理机构 代理人
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