| 发明名称 |
DRYING DEVICE AND DRYING METHOD |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH1183316(A) |
申请公布日期 |
1999.03.26 |
| 申请号 |
JP19970269214 |
申请日期 |
1997.09.17 |
| 申请人 |
TOKYO ELECTRON LTD |
发明人 |
KAMIKAWA YUJI;MINAMI TERUOMI;KITAHARA SHIGENORI |
| 分类号 |
F26B3/04;F26B9/06;F26B21/00;F26B21/14;F26B25/00;H01L21/00;(IPC1-7):F26B9/06 |
主分类号 |
F26B3/04 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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