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发明名称 Unterteilte Substratbehandlungskammer
摘要
申请公布号 DE69507757(D1) 申请公布日期 1999.03.25
申请号 DE1995607757 申请日期 1995.08.21
申请人 APPLIED MATERIALS, INC., SANTA CLARA, CALIF., US 发明人 TEPMAN, AVI, CUPERTINO, CA 95014, US;YIN, GERALD Z., CUPERTINO, CA 95014, US;OLGADO, DONALD, MOUNTAIN VIEW, CA 94040, US
分类号 H01L21/302;B65G49/07;H01L21/00;H01L21/02;H01L21/20;H01L21/306;H01L21/677;(IPC1-7):H01L21/00 主分类号 H01L21/302
代理机构 代理人
主权项
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