Verfahren zur Herstellung von Mikrostrukturkörpern,申请号DE1997141492-传众专利搜索

发明名称	Verfahren zur Herstellung von Mikrostrukturkörpern
摘要
申请公布号	DE19741492(A1)	申请公布日期	1999.03.25
申请号	DE1997141492	申请日期	1997.09.19
申请人	MICROPARTS GESELLSCHAFT FUER MIKROSTRUKTURTECHNIK MBH, 44227 DORTMUND, DE	发明人	REINECKE, HOLGER, DR., 44287 DORTMUND, DE;KAPITZA, NORBERT, 44369 DORTMUND, DE;BALLHORN, RALPH-ULRICH, 44227 DORTMUND, DE;SCHAEFERMEIER, BERNHARD, 53115 BONN, DE;SPITZNER, ULRIKE, 44623 HERNE, DE
分类号	G03F7/027;B62D57/00;B81C3/00;G03F7/00;G03F7/038;G03F7/20;G03F7/32;H01L21/027;(IPC1-7):G03F7/00;B29C41/12;B29C35/08	主分类号	G03F7/027
代理机构		代理人
主权项
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