| 发明名称 |
APPARATUS FOR PLASMA JET TREATMENT OF SUBSTRATES |
| 摘要 |
|
| 申请公布号 |
EP0902962(A1) |
申请公布日期 |
1999.03.24 |
| 申请号 |
EP19970927849 |
申请日期 |
1997.05.30 |
| 申请人 |
IPEC PRECISION, INC. |
发明人 |
SINIAGUINE, OLEG;TOKMOULINE, ISKANDER |
| 分类号 |
H01J37/32;C23C16/458;C23C16/50;C23C16/513;C23C16/54;C23F4/00;H01L21/302;H01L21/3065;(IPC1-7):H01J37/32;H01L21/00 |
主分类号 |
H01J37/32 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
