发明名称 Coating method and coating apparatus
摘要
申请公布号 EP0661102(B1) 申请公布日期 1999.03.24
申请号 EP19940120597 申请日期 1994.12.23
申请人 TDK CORPORATION 发明人 TSUNODA, EIZO;SHIMIZU, YUTAKA;YOSHIIKE, NAOMI;ONOZAWA, KATSUMI;KATAI, KAZUO;WATANABE, EIICHI
分类号 B05D1/26;B05C5/02;B05C9/04;B05C9/06;B05C9/14;B05C13/00;G11B5/848;(IPC1-7):B05C5/02;G03C1/74 主分类号 B05D1/26
代理机构 代理人
主权项
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