对意图在微电子工业中使用的超纯化学品进行稀释的系统

摘要

本发明涉及一种对意图在微电子工业中使用的超纯化学品进行稀释的系统。为此目的,具有与微电子工业要求纯度相符的预定纯度P的浓缩化学品通过使用纯度至少与P相等的水稀释,并在稀释罐内再循环稀释过的化学品来调节溶液的滴度,优选方式为然后取出稀释化学品的样品,以便核查其滴度预先验证过的稀释化学品的纯度。

主权项

1．一种对意图在微电子工业中使用的超纯化学品进行稀释的系统，其特征在于，它包括第一个罐，该罐装有浓缩形式的所述化学品，该化学品具有与微电子工业中使用该化学品的操作将要进行时要求的纯度相符的预定纯度P；纯度至少等于P的超纯水的供应器；用于混合浓缩化学品和超纯水的第二个罐，由此可以得到稀释的化学品溶液，其纯度至少等于P，这样调整稀释化学品溶液的滴度：在预定量超纯水和纯度为P的浓缩化学品混合之后，测定稀释溶液的滴度，以便获得大于所需稀释化学品最终浓度的化学品浓度，向混合物内添加附加量的超纯水，该附加量最多等于获得所需滴度所必需的理论量，然后搅拌稀释过的溶液一段时间，以便稀释化学品自身再循环至少约3次，以确保稀释化学品充分均匀而且在稀释化学品的整个容积中滴度基本上恒定，在该化学品贮藏在第三个罐中之前，最终检查稀释化学品溶液的滴度。