| 发明名称 |
TEMPERATURE MEASUREMENT OF SUBSTRATE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH1179887(A) |
申请公布日期 |
1999.03.23 |
| 申请号 |
JP19970239421 |
申请日期 |
1997.09.04 |
| 申请人 |
JAPAN ENERGY CORP |
发明人 |
NAKAMURA MASASHI;ARAMAKI SATOSHI;KANEDA WATARU |
| 分类号 |
C30B25/10;(IPC1-7):C30B25/10 |
主分类号 |
C30B25/10 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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