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发明名称 HALF-TONE PHASE SHIFT MASK
摘要
申请公布号 KR0175014(B1) 申请公布日期 1999.03.20
申请号 KR19950030081 申请日期 1995.09.14
申请人 SAMSUNG ELECTRONICS CO., LTD. 发明人 SHIN, INN-KYU;HAN, WOO-SUNG;WOO, SANG-KYUN;KO, YONG-BUM
分类号 G03F1/26;G03F1/32;H01L21/027;(IPC1-7):G03F1/14;G03F1/08 主分类号 G03F1/26
代理机构 代理人
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