发明名称 FABRICATING METHOD FOR ACTIVE MATRIX SUBSTRATE
摘要
申请公布号 KR0178775(B1) 申请公布日期 1999.03.20
申请号 KR19890012913 申请日期 1989.09.07
申请人 HITACHI LTD. 发明人 KONISHI, NOBUTAKE;YAWACHI, KENSIROU;MIMURA, AKIO;ONO, KIKUO;SUZUKI, TAKASHI
分类号 G02F1/136;G02F1/1368;G09F9/30;H01L21/3213;H01L21/336;H01L21/77;H01L21/84;H01L27/12;H01L29/49;H01L29/78;H01L29/786;(IPC1-7):H01L27/12 主分类号 G02F1/136
代理机构 代理人
主权项
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