发明名称 SEMICONDUCTOR PACKAGE EQUIPMENT
摘要
申请公布号 KR0137750(Y1) 申请公布日期 1999.03.20
申请号 KR19950052630U 申请日期 1995.12.29
申请人 ANAM SEMICONDUCTOR LTD.;ANAM INSTRUMENTS INC. 发明人 KIM, YONG-WUNG
分类号 H01L21/68;(IPC1-7):H01L21/68 主分类号 H01L21/68
代理机构 代理人
主权项
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