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发明名称 VALVE ASSEMBLY OF SEMICONDUCTOR FABRICATION LINE
摘要
申请公布号 KR0135805(Y1) 申请公布日期 1999.03.20
申请号 KR19960002796U 申请日期 1996.02.23
申请人 SAMSUNG ELECTRONICS CO., LTD. 发明人 LEE, SI-KYUNG;LEE, HWA-SUK
分类号 H01L21/304;(IPC1-7):H01L21/304 主分类号 H01L21/304
代理机构 代理人
主权项
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