发明名称 NITROGEN SUPPLY SYSTEM
摘要
申请公布号 KR0133943(Y1) 申请公布日期 1999.03.20
申请号 KR19940037087U 申请日期 1994.12.29
申请人 HYUNDAI ELECTRONICS IND. CO.,LTD 发明人 CHOE, KEUN-MAN
分类号 H01L21/02;H01L21/304;(IPC1-7):H01L21/304 主分类号 H01L21/02
代理机构 代理人
主权项
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