APPARATUS FOR FABRICATING A PHOTORESIST THIN FILM HAVING NON-SYMMETRICAL DIFFUSION PROPERTY,申请号KR19960009647-传众专利搜索

发明名称	APPARATUS FOR FABRICATING A PHOTORESIST THIN FILM HAVING NON-SYMMETRICAL DIFFUSION PROPERTY
摘要
申请公布号	KR0172575(B1)	申请公布日期	1999.03.20
申请号	KR19960009647	申请日期	1996.03.30
申请人	SAMSUNG ELECTRONICS CO., LTD.	发明人	KIM, YONG-KI;PARK, JUN-SOO;HWANG, KYU-HWAN
分类号	G03F7/36;(IPC1-7):G03F7/36	主分类号	G03F7/36
代理机构		代理人
主权项
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