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发明名称 ARM ATTACHMENT OF SEMICONDUCTOR TRANSFER APPARATUS
摘要
申请公布号 KR0136330(Y1) 申请公布日期 1999.03.20
申请号 KR19960000905U 申请日期 1996.01.23
申请人 SAMSUNG ELECTRONICS CO., LTD. 发明人 SON, JON-WUK;NOH, SUNG-JIN
分类号 H01L21/68;(IPC1-7):H01L21/68 主分类号 H01L21/68
代理机构 代理人
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