| 发明名称 |
SHIELD IN CHAMBER FOR PRODUCING METAL THIN FILM ON SEMICONDUCTOR |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
KR0134539(Y1) |
申请公布日期 |
1999.03.20 |
| 申请号 |
KR19960012219U |
申请日期 |
1996.05.16 |
| 申请人 |
SAMSUNG ELECTRONICS CO., LTD. |
发明人 |
KIM, HEE-JAE |
| 分类号 |
H01L21/3205;(IPC1-7):H01L21/320 |
主分类号 |
H01L21/3205 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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