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经营范围
发明名称
CLEANING APPARATUS OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号
KR0134680(Y1)
申请公布日期
1999.03.20
申请号
KR19950016076U
申请日期
1995.06.30
申请人
HYUNDAI ELECTRONICS IND. CO.,LTD
发明人
YUN, YONG-HYUK;LEE, BYUNG-SIK;SEO, ILL-SUK
分类号
H01L21/304;(IPC1-7):H01L21/304
主分类号
H01L21/304
代理机构
代理人
主权项
地址
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