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发明名称 METHOD FOR MANUFACTURING POLYCRYSTALLINE LAYER HAVING UNIFORM METAL SILICIDE LAYER THEREON
摘要
申请公布号 KR0180259(B1) 申请公布日期 1999.03.20
申请号 KR19940036867 申请日期 1994.12.26
申请人 NIPPON ELECTRIC K.K. 发明人 SAKAI, ISAMI
分类号 H01L21/28;H01L21/336;(IPC1-7):H01L29/46 主分类号 H01L21/28
代理机构 代理人
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