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发明名称 METHOD OF MANUFACTURING SEMICONDUCTOR DEVICES
摘要
申请公布号 KR0184371(B1) 申请公布日期 1999.03.20
申请号 KR19950044662 申请日期 1995.11.29
申请人 KABUSHIKI KAISHA TOSHIBA 发明人 MAETA, HIDEAKI;OYAMA, KATSUHIKO;IWASAKI, HIROSHI;OHSHIMA, YUMIKO;NAKAZAWA, TAKAHITO
分类号 H01L21/56;(IPC1-7):H01L23/50 主分类号 H01L21/56
代理机构 代理人
主权项
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