发明名称 APPARATUS FOR FABRICATING A SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 KR0135455(Y1) 申请公布日期 1999.03.20
申请号 KR19960002724U 申请日期 1996.02.23
申请人 SAMSUNG ELECTRONICS CO., LTD. 发明人 JUNG, YONG-KYO
分类号 H01L21/306;(IPC1-7):H01L21/306 主分类号 H01L21/306
代理机构 代理人
主权项
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