发明名称 COMPOUND SEMICONDUCTOR DEVICE AND METHOD FOR SURFACE TREATMENT
摘要
申请公布号 KR0179952(B1) 申请公布日期 1999.03.20
申请号 KR19900009103 申请日期 1990.06.20
申请人 MITSUBISHI KASEI CORP.;MITSUBISHI MONSANTO CHEMICAL COMPANY 发明人 NOGUCHI, MASAHIRO;IBUKA, TOSHIHIKO
分类号 H01L21/318;H01L33/10;H01L33/22;H01L33/30;H01L33/36;(IPC1-7):H01L33/00 主分类号 H01L21/318
代理机构 代理人
主权项
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