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发明名称 EXPOSURE APPARATUS AND FOR FORMING A FINE PATTERN AND METHOD THEREOF
摘要
申请公布号 KR0171947(B1) 申请公布日期 1999.03.20
申请号 KR19950048047 申请日期 1995.12.08
申请人 HYUNDAI ELECTRONICS IND. CO.,LTD 发明人 CHO, BAE-DOO;CHON, SUNG-HOO;LEE, SUNG-MOOK
分类号 G03F7/20;H01L21/027;(IPC1-7):G03F7/20 主分类号 G03F7/20
代理机构 代理人
主权项
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